华体会PP电子安德森·大龙的真空研究发表在领先期刊上

发表于:2021年6月4日

我们很高兴地宣布我们的研究,“七个几何类似真空室的不同材料和热处理的速度比较”,最近是最近的发表在里面真空科学与技术杂志(JVST)通讯,“在AVS表面之下。”JVST致力于发表关于微电子和纳米技术的原始研究报告、信函和评论文章。

研究目标

研究目标是测试一系列具有相同几何形状的真空室,由不同的材料和材料处理构成。结果将有助于研究实体更好地确定他们为其高和极端真空研究设备所需的理想材料。

研究总结

水和氢的脱气率是在7个真空室中测量的,这些真空室的几何形状相同,但材料和热处理方式不同。测试了五种不同材料的箱体:304L、316L和316LN不锈钢;钛(ASTM等级2);和6061年铝。

将216L和316LN不锈钢构造的腔室经受真空 - 火过程 - 在真空下加热至约950℃,持续24小时。这些后两个腔室被指定为316L-XHV和316LN-XHV。

由于所有的腔室都是由安德森·达伦(Anderson Dahlen)制作的,具有相同的几何形状,因此可以对这些腔室之间的排气速率进华体会PP电子行相对比较。

研究结果

经过大量测试,我们得出结论,根据成本和其他材料特性,Ti和Al以及316L,316LN不锈钢是迄今为止超高真空和极端高真空应用的最佳材料。对于那里的专家来说,数字是:

  • 使用吞吐量技术作为时间函数测量水分分配速率。316L,316Ln,316L-XHV和316LN-XHV的水分散结果均相似但低于304L的304L,在104秒下较低3-5。
  • Ti和Al腔室的水放气结果与304L腔室更接近,Ti略低。
  • 使用升高的方法测量氢气过分率,并在125-150℃的低温烘烤后进行至少72小时进行。
  • Ti,Al,316L-XHV和316LN-XHV腔室都具有低于1×10-11pa L S-1 CM-2的超低特异性分散率,并且比304L室更好或更好。
  • 304L、316L和316LN没有真空火热处理的室比其他室有更大的氢气放气率,确定的特定放气率范围在4.0和8.0 × 10−11 Pa l s−1 cm−2之间。

研究起源-安德森达伦真空与NIST的合作华体会PP电子

我们对不同金属和热处理的不同排气的研究结果是广泛的合作努力在。。之间应用真空部门安德森华体会PP电子·达伦和国家标准和技术研究所(NIST)。两组完成了一项合作研究和发展协议(CRADA),以研究各种材料和预制加工技术的有效性,以实现在真空室中极低的氢气排气率。

我们对不同金属和热处理的测试结果对任何需要理想材料作为研究设备的人都非常有用。

客户考虑研究

考虑到这些调查结果,在为项目指定材料之前,客户现在可以考虑以下内容:

  • 大多数制造公司都可以在机器316L上进行工具,可轻松在所有尺寸的金属板,板和棒中获得。从定价角度来看,316L与铝相当,与钛相比较便宜。
  • 鉴于焊接过程中的大型热区,铝难以焊接超高真空(UHV)/ XHV应用。铝还需要使用双金属凸缘(即,爆炸粘合的铝至不锈钢或钛),主要是因为铝刀边缘柔软,并且随着用户打开并关闭真空室,将变形或无法密封或无法密封。然而,由于铝是磁性惰性材料,因此对于一些大科学实验是一个关键特征。
  • 与316L和铝相比,钛的钛是更昂贵的,并且在同一组的材料尺寸中也难以获得。与钛相关的另外的并发症包括当仪器连接到具有不锈钢法兰的真空室时的潜在密封问题,当腔室在操作期间烘焙时发生。

请注意,无论选择哪种材料用于XHV应用,Anderson Dahlen的施加的真空部门都可以生产任何房间。华体会PP电子

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