华体会PP电子安德森·大龙的真空研究发表在领先期刊上

发布日期:2021年6月4日

我们很高兴地宣布我们的研究,“七个几何类似真空室的不同材料和热处理的速度比较”,最近是最近的发表在里面真空科学与技术杂志(JVST)通讯,“在AVS表面之下。”JVST致力于发表关于微电子和纳米技术的原始研究报告、信函和评论文章。

研究目标

研究目标是测试一系列具有相同几何形状的真空室,由不同的材料和材料处理构成。结果将有助于研究实体更好地确定他们为其高和极端真空研究设备所需的理想材料。

研究总结

水和氢的脱气率是在7个真空室中测量的,这些真空室的几何形状相同,但材料和热处理方式不同。测试了五种不同材料的箱体:304L、316L和316LN不锈钢;钛(ASTM等级2);和6061年铝。

由316L和316LN不锈钢制成的腔室进行了真空火处理——在真空中加热到约950℃24小时。后两个腔室分别命名为316L-XHV和316LN-XHV。

由于所有的腔室都是由安德森·达伦(Anderson Dahlen)制作的,具有相同的几何形状,因此可以对这些腔室之间的排气速率进华体会PP电子行相对比较。

研究结果

经过广泛的测试,我们得出结论,根据成本和其他材料的性能,TI和AL以及316L和316LN不锈钢是目前为止超高真空和超高真空应用的最佳材料。对于专家来说,下面是一些数据:

  • 使用吞吐量技术作为时间函数测量水分分配速率。316L,316Ln,316L-XHV和316LN-XHV的水分散结果均相似但低于304L的304L,在104秒下较低3-5。
  • Ti和Al腔室的水放气结果与304L腔室更接近,Ti略低。
  • 使用升高的方法测量氢气过分率,并在125-150℃的低温烘烤后进行至少72小时进行。
  • Ti、Al、316L-XHV和316LN-XHV室的比放气率均低于1 × 10−11 Pa l s−1 cm−2,是304L室的100倍或更好。
  • 304L、316L和316LN没有真空火热处理的室比其他室有更大的氢气放气率,确定的特定放气率范围在4.0和8.0 × 10−11 Pa l s−1 cm−2之间。

研究起源-安德森达伦真空与NIST的合作华体会PP电子

我们对不同金属和热处理的不同排气的研究结果是广泛合作的努力之间的应用真空部门安德森华体会PP电子·达伦和国家标准和技术研究所(NIST)。两组完成了一项合作研究和发展协议(CRADA),以研究各种材料和预制加工技术的有效性,以实现在真空室中极低的氢气排气率。

我们对不同金属和热处理的测试结果对任何需要理想材料作为研究设备的人都非常有用。

研究中客户的考虑因素

有了这些发现,客户现在可以在为他们的项目指定材料之前考虑以下事项:

  • 大多数制造公司都有加工316L的工具,很容易获得各种尺寸的钣金,板和棒。从价格的角度来看,316L与铝不相上下,与钛相比更便宜。
  • 鉴于焊接过程中的大型热区,铝难以焊接超高真空(UHV)/ XHV应用。铝还需要使用双金属凸缘(即,爆炸粘合的铝至不锈钢或钛),主要是因为铝刀边缘柔软,并且随着用户打开并关闭真空室,将变形或无法密封或无法密封。然而,由于铝是磁性惰性材料,因此对于一些大科学实验是一个关键特征。
  • 与316L和铝相比,钛要昂贵得多,而且在相同的材料尺寸组中,钛也更难加工和获得。与钛相关的其他并发症包括,当仪器用不锈钢法兰连接到真空室时,可能会出现密封问题,这是在真空室在手术中烘烤时发生的。

请注意,无论选用哪种材料用于XHV应用,安德森达伦应用真空部门都可以生产任何所需的真空室。华体会PP电子

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